真空热处理技术发展展望

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真空热处理是一种高效、优质、节能、清洁无污染的先进热处理技术，在工业发达国家，真空热处理生产量占热处理生产总量的20%~25%，有着广阔的发展前景，主要的发展趋势为：
(1)自上世纪80年代以来，国外广泛采用高压气淬代替油淬，以免除清洗工序，提高工件表面质量。上世纪90年代初，国外已在开发(20~40)×105Pa的高压气淬炉，如上所述，业已开发出工作压力达100×105Pa，工作温度达2200℃的高温高压真空炉，向高温高压发展的趋势还将持续。

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(2)广泛采用计算机微电子技术及网络技术，研制开发智能控制系统和网络管理系统，实现真空热处理工艺和设备的柔性化和连续作业。
(3)进一步提高自动化程度和控制精度，主要技术指标：
①炉温均匀性　≤±3℃;
②充气压力　5×105Pa ~20×105Pa，氩+氢混合气体控制冷却并回收;
③最高加热温度　2500℃;
④压升率　＜6.67×10-1Pa/h;
⑤真空度　10-2Pa~10-4Pa。
(4)开发真空等温热处理技术、设备及智能控制系统。
(5)开发真空感应加热技术。
(6)研发真空脱脂清洗技术与设备及推广应用。
(7)真空离子注入、真空离子涂覆技术和设备的开发和应用。
(8)在计算机技术的推动下，广泛应用真空热处理工艺C A D和真空炉设计C A D技术，实现真空热处理工艺最佳化和真空炉结构的优化设计。