电子束焊设备的真空测量

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　　用以定量地得知低压空间气体稀薄程度(即真空度)所用的测量仪器称真空计。

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　　目前真空计的种类繁多，从不同角度出发，有不同的分类方法，一般按真空计的刻度方法可分为：

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　　绝对真空计——根据真空计本身与压力有关的物理量直接计算出压力值的真空计。如压缩式真空计(或称麦氏真空计)、热辐射真空计等。

　　相对真空计——通过与压力有关的物理量间接测量，不能通过计算进行刻度，必须与绝对真空计相比较进行刻度的真空计。如热传导真空计、电离真空计等。

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　　根据真空测量的特点，对电子束焊机中的真空计有以下几点要求：

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　　1、量程要宽。由于电子束焊机中真空度范围较宽，如果真空计的量程宽些，则给测量工作带来很大方便。

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　　2、要有足够的精度。由于真空测量不可能象其它测量那样有很高的精度，误差较大，对电子束焊机中的真空测量来讲，一般要求真空计的相对误差≤20%就可以了。

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　　3、能连续测量，反应迅速，以便能实现真空系统的自动控制。

　　4、对外界条件(如温度、振动、电磁场)不敏感。

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　　现对电子束焊机中常用的几种真空计的使用特点介绍如下：

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　　1、压缩式真空计。压缩式真空计也称为麦克劳真空计(麦式真空计)，一般测量范围为1.33×10—1.33×10—2Pa，其结构形式还有宽量程、双管式和旋转式等区别。

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　　2、热传导真空计。是利用气体分子的热传导在某一压力范围内与气体压力成正比关系的原理制成的，因此根据热传导的变化就能反映出压力的变化。

　　热传导真空计又分为电阻真空计和热电偶真空计两种形式。这两种真空计的测量范围一般为1.33×102~1.33×10—2Pa左右，其特点是两种真空计都属于相对真空计，可以连续测量，但受环境影响较大。

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　　3、电离真空计。对低于1.33×10-1Pa的低压测量时，通常采用电离真空计。由于电离源不同，又可分为热阴极、冷阴极和放射性电离真空计。

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　　(1)热阴极电离真空计：其测量范围为1.33×10-1~1.33×10-6Pa，可以连续测量，属于相对真空计。该真空计使用时应该注意的是，由于有热阴极存在，就有吸气放气现象产生而影响测量的准确性，而且在压力高于1.33×10-1Pa时不能进行测量，否则阴极就要被烧坏。

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　　(2)冷阴极电离真空计：这种真空计也属于相对真空计，测量范围1.33×10-1~1.33×10-4Pa，其特点是结构简单、寿命长、灵敏度高，但需要强的磁场和高压电源，低压时持续放电有一定不稳定性，误差较大等。【MechNet】