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[交流] 激光干涉仪线性测量,保证机床加工精度!

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发表于 2022-11-9 14:36:43 | 显示全部楼层 |阅读模式

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数控机床因为高精度、高效率、多功能等优点,广泛应用于各行业中。为了保证机床的加工精度,需要用到激光干涉仪对它们做定期精度检查,这样才能保证加工产品的质量。
  C+ m3 P; H* O& e0 v2 d
* S7 @4 u# e9 z  S* v4 M线性测量是激光干涉仪用来检定机床定位精度的一种常见测量。
! C8 O( \1 Z' n% s  }8 d# \7 T, J8 Y; \3 r& {( r
/ u! x* L( A$ M
线性测量构建
2 Z" c# z; ^% n4 d4 Z3 G进行线性测量需使用到“线性干涉镜”(由分光镜和角锥反射镜A组 成)和“线性反射镜”(角锥反射镜B)。激光从SJ6000主机(激光头)出射,通过分光 镜后将分成两束激光,一束激光为通过角锥反射镜A的参考光,另一束激光为通过角锥反 射镜B的测量光,通过移动“线性反射镜”可实现运动轴的线性测量。! r' n4 J! m- c/ q' x! x- H
图片1.jpg
线性测量原理构建图

' |2 a' o4 m( ]2 Z) o$ _' T
图片3.jpg
水平轴的线性测量示意图

- ?* u+ a, K; N/ W- @
图片2.jpg
垂直轴的线性测量示意图
2 E8 r. a' W+ \
SJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术,可以输出高精度、抗扰力强、高稳定性的激光频率。其线性测量可满足(0〜80)m范围内的精密测量,主要应用于测量直线导轨的定位精度、重复 定位精度和反向间隙等。
1 M' W( l4 U4 S( c, T  p; F3 f+ S/ F' ^$ ^( b$ y# }
图片4.jpg

5 u' P, N1 y  E' ^
图片5.jpg
数控机床的线性测量

2 r8 A+ t8 w9 x% x
图片6.jpg
数控机床倾斜轴的线性测量
+ J* A: m  d  ~! g! s6 |  c
线性测量步骤:4 y# i8 B/ F1 u, W% k( D3 ?2 z# C
1、设置激光器系统以执行线性测量;
9 k( n# O- t0 E: i: @& q2、使激光束与机床的运动轴准直;
9 o5 e5 v9 G+ I3 k# v+ W6 B3、启动自动环境补偿功能,确保在软件中输入正确的材料膨胀系数;. ~* G! I2 g/ o- P7 ?" ^. [
4、测量和记录机床的线性误差;) G$ w) i2 S* z. K. u7 A
5、分析数据。
/ _$ c: }7 j1 c5 w' T; Y- H" B  K7 ?1 W
注意事项- o3 i& I* i* R  V% G& ^# j
1、线性测量过程尤其是在测量与激光头成直角的水平轴和垂直轴、斜轴的时候,光路调节困难,这时候就需要巧妙安装反射镜和折射镜。
. |9 R0 R$ _' v. u4 O4 f2、使用光靶能简单准直激光束, r- A6 l0 L: z
3、在开始测量时,或者在返程测量时激光干涉仪不踩点,可能原因有:# F7 a9 j/ Q1 n( [7 W0 w
(1)光强太弱;2 V' H- f+ F' B, C( X+ u& U! _
(2)当返回测量时,激光干涉仪不采集数据。这时候要分析“越程”量设置是否正确,或是机床在程序运行中有没有考虑“越程”。
8 J, w5 j2 k% u4、线性反射镜箭头方向就是激光进行方向,一定要正确组合线性反射镜组。
6 H+ W$ G0 {* J0 W5、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直,这将为后面进行找正光源做好基础。) v2 O% |$ x% n. t; o
6、激光头预热时间会根据气温的变化而变化,所以在测量数据前要保证在激光波长稳定后进行。: d: v1 f. X, }9 b& T; v& {
7、测试工作完成后,应先将激光头电源关掉,关闭电脑。
# m. C7 `6 l' x: n
1 S* ]0 i( l  j" g% C! e  w, h  C2 A' b  L$ O
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