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[交流] 激光干涉仪线性测量,保证机床加工精度!

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发表于 2022-11-9 14:36:43 | 显示全部楼层 |阅读模式

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数控机床因为高精度、高效率、多功能等优点,广泛应用于各行业中。为了保证机床的加工精度,需要用到激光干涉仪对它们做定期精度检查,这样才能保证加工产品的质量。7 B) N1 v1 a0 I% @& y( z* U
$ q9 T& p6 @1 z5 r) y  r# |+ P
线性测量是激光干涉仪用来检定机床定位精度的一种常见测量。
! B1 Y( i  N9 M: o. y5 R& ~3 h: h1 S. h/ c  C
! H0 i% v, F" P# d/ m% T1 O3 |) m
线性测量构建
4 E4 W9 s7 l8 ~1 z3 C5 I进行线性测量需使用到“线性干涉镜”(由分光镜和角锥反射镜A组 成)和“线性反射镜”(角锥反射镜B)。激光从SJ6000主机(激光头)出射,通过分光 镜后将分成两束激光,一束激光为通过角锥反射镜A的参考光,另一束激光为通过角锥反 射镜B的测量光,通过移动“线性反射镜”可实现运动轴的线性测量。
4 Y) n4 L) Q4 M# N2 s
图片1.jpg
线性测量原理构建图

' a, N% |4 A- }5 }4 ~
图片3.jpg
水平轴的线性测量示意图
* O' d( o/ s0 X+ G; J! z
图片2.jpg
垂直轴的线性测量示意图
5 ^# z, c. t! x0 u) ?0 k( w2 e0 [( }
SJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术,可以输出高精度、抗扰力强、高稳定性的激光频率。其线性测量可满足(0〜80)m范围内的精密测量,主要应用于测量直线导轨的定位精度、重复 定位精度和反向间隙等。
" ^" g4 u4 y2 [5 F/ @/ j1 |9 K6 y' {
图片4.jpg

" t& t. L5 V9 P7 p5 E: D
图片5.jpg
数控机床的线性测量

" ~4 |! u5 i. Q$ t
图片6.jpg
数控机床倾斜轴的线性测量

+ _! r  t) b: Q, L5 j2 d" x4 w线性测量步骤:) |: u2 g5 h  v& m5 I) ?* C
1、设置激光器系统以执行线性测量;
1 O% _2 _* X6 }: n$ Q2 M2、使激光束与机床的运动轴准直;9 Z8 D& ~; S. ]! R
3、启动自动环境补偿功能,确保在软件中输入正确的材料膨胀系数;
+ r4 @( _# {# V0 O0 w# J4、测量和记录机床的线性误差;+ u# U3 o1 y/ }
5、分析数据。
5 |' J* t% x- `3 k: ]  ?6 y. q' {* X0 H7 n3 c/ @. U3 e
注意事项
4 E& @& f/ v/ `" p- y  d( ^1、线性测量过程尤其是在测量与激光头成直角的水平轴和垂直轴、斜轴的时候,光路调节困难,这时候就需要巧妙安装反射镜和折射镜。
+ q8 V6 n2 M1 K. V9 n2、使用光靶能简单准直激光束+ ^; o: x( Q! B/ I
3、在开始测量时,或者在返程测量时激光干涉仪不踩点,可能原因有:  [) |5 V% H9 r% ~( R6 `
(1)光强太弱;  [! z" d! d% L
(2)当返回测量时,激光干涉仪不采集数据。这时候要分析“越程”量设置是否正确,或是机床在程序运行中有没有考虑“越程”。' N6 p. l8 V- T+ ^% _& h$ M6 M+ p
4、线性反射镜箭头方向就是激光进行方向,一定要正确组合线性反射镜组。, H! Q6 }) g3 _
5、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直,这将为后面进行找正光源做好基础。
+ O$ w9 K4 I0 {5 f% w* M) [* n# p6、激光头预热时间会根据气温的变化而变化,所以在测量数据前要保证在激光波长稳定后进行。
& D# P) A2 z6 E. ]( o& s7、测试工作完成后,应先将激光头电源关掉,关闭电脑。8 V0 z" K& S* u. X

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