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台阶仪二维超精密测量微观形貌

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发表于 2024-3-1 16:09:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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台阶仪通过扫描被测样品表面,获取高分辨率的表面形貌数据,能够揭示微观结构的特征和性能。1 Z3 s0 R  A7 l! B8 s8 ?
了解工作原理和性能特点
6 b8 s% V8 a8 V台阶仪利用扫描探针在样品表面上进行微观测量,通过探测探针和样品表面之间的相互作用力,获取表面形貌信息。具体而言,扫描探针通过细微的力变化,测量样品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通过数据处理,形成高分辨率的图像。
, z- Q! u3 O$ q, a0 C它能够实现纳米级别的测量,对微观结构的细节进行观测和分析,揭示出表面的微观特征;还具备高速扫描的能力,实现快速获取样品的形貌数据。  ?) J: ^" H$ G, @, G

: ~& N7 v' @8 T2 ]" I* E: L. Q% i功能和作用介绍. S. U/ B  ^, Q  Z0 l& h$ I
作为一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。测量参数:* _6 D! @6 F" `" g9 ]
(1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度;7 |; Y+ H! |4 ~3 H7 r/ m; {9 a
(2)粗糙度与波纹度:可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;
! E) F6 i# r* {0 w2 a(3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲。% _2 v2 }) V# l! [( m

+ Y4 G( j5 p! A% u: R3 e台阶仪的应用
6 E' ?. k8 D5 N8 C: R1 L6 Z台阶仪具有广泛的适用范围,在科学研究、材料表征、纳米技术、半导体制造等领域都有应用。如在半导体制造中,台阶仪可以用于检测半导体材料表面的缺陷和形貌,为半导体器件的开发和生产提供可靠的数据参考。
/ d) ?* X0 m. S( r& l/ s台阶仪具备出色的精确性和稳定性,而且样品适应面广,对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。在材料科学、制造业、科研等领域都有着重要的应用价值。相信随着科技的不断发展,台阶仪将会在测量领域发挥更加重要的作用。
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台阶仪优势总结5 ]  c0 }2 K1 s  R& B" S
1、高精度的测量能力
4 p; M; j; }- b& Z( ?7 J5 A台阶仪在微观表面形貌的测量中非常准确,能够满足高精度测量的需求。CP系列台阶仪具有亚埃级分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性。其500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。( y) @' ?$ M) s0 V6 e
采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪测量ITO膜厚,高精度测量同时不损伤样件本身。/ D* k0 L; ]; v5 P  p1 L( A' i
2、快速测量的能力
2 X" b9 Y7 @" M" e7 T: g0 W4 |1 R7 \台阶仪配备精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。快速获取表面的高程数据,将测量结果以图形的形式展现出来。这提高了测量效率,减少了测量时间。
) I2 R3 N- C% p3、广泛的适用范围
2 k5 m. J  A; [* \. f0 ^台阶仪可以对各种不同材料的表面进行测量,包括金属、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面还是曲面,台阶仪都能够轻松应对,确保测量结果的准确性和可靠性。
9 x2 J6 K5 l3 m; J, U7 P  y0 v1 n" W6 u2 X) [2 w+ Q$ J/ R
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