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台阶仪二维超精密测量微观形貌

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发表于 2024-3-1 16:09:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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台阶仪通过扫描被测样品表面,获取高分辨率的表面形貌数据,能够揭示微观结构的特征和性能。
" m" G# h$ m  h6 W( v6 X了解工作原理和性能特点  {1 V; a( r2 \. y4 u" o
台阶仪利用扫描探针在样品表面上进行微观测量,通过探测探针和样品表面之间的相互作用力,获取表面形貌信息。具体而言,扫描探针通过细微的力变化,测量样品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通过数据处理,形成高分辨率的图像。
6 z$ t/ h" E/ f1 q+ X1 R0 |它能够实现纳米级别的测量,对微观结构的细节进行观测和分析,揭示出表面的微观特征;还具备高速扫描的能力,实现快速获取样品的形貌数据。
! L! }. y+ D* }  i0 `! _. E: R/ \9 q( o! [% _# l  f' a
功能和作用介绍
/ @7 }2 W% r) J# J  s9 E作为一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。测量参数:3 Q9 B3 ~; W. n
(1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度;
& A* @2 K9 I3 H* X6 O1 X(2)粗糙度与波纹度:可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;
1 k. p" t- ]% f/ W) F; A# q(3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲。
, t: S" A- S; _8 h" ?8 }' y# l
4 I) A* j+ y9 M台阶仪的应用/ R/ r* W) g# h$ ^0 _% Z1 B; p
台阶仪具有广泛的适用范围,在科学研究、材料表征、纳米技术、半导体制造等领域都有应用。如在半导体制造中,台阶仪可以用于检测半导体材料表面的缺陷和形貌,为半导体器件的开发和生产提供可靠的数据参考。
  ]/ }. y! S" N% _& c8 V- J台阶仪具备出色的精确性和稳定性,而且样品适应面广,对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。在材料科学、制造业、科研等领域都有着重要的应用价值。相信随着科技的不断发展,台阶仪将会在测量领域发挥更加重要的作用。
2 g3 c# t, |' I  Q( _8 P
7 i& M! ]# t* I台阶仪优势总结/ E/ w+ f) x, w
1、高精度的测量能力3 A# _) S  o0 m( Y( U, H- q. q' m. B
台阶仪在微观表面形貌的测量中非常准确,能够满足高精度测量的需求。CP系列台阶仪具有亚埃级分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性。其500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。% _# M/ F0 h8 S
采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪测量ITO膜厚,高精度测量同时不损伤样件本身。
9 E. {" j4 e# A2、快速测量的能力
/ t7 p# Q) r$ n& d) J$ z, R& [台阶仪配备精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。快速获取表面的高程数据,将测量结果以图形的形式展现出来。这提高了测量效率,减少了测量时间。
. b  \! o  Y# e: F" j) X$ e. ^3、广泛的适用范围; n5 n! Z% K1 P( P3 u7 |3 o! W; z% i
台阶仪可以对各种不同材料的表面进行测量,包括金属、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面还是曲面,台阶仪都能够轻松应对,确保测量结果的准确性和可靠性。
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