电子束焊设备的真空检漏

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　　当真空系统发现存在漏孔时，需要寻找漏孔的部位，这就需要进行检漏，检漏的方法很多，它们的原理，使用条件和范围也各不相同，很难把它们严格地加以分类，现根据被检容器所处的状态分为两大类：

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　　1、加压法。在被检容器内充入一定压力的试验气体，当容器壁上有漏孔时，试验气体便从漏孔逸出，我们只要用适当的指示方法查明有无气体逸出，就能确定哪里有漏孔和漏气量的大小。属于这类方法的有气压法、火焰法、氨检漏法以及氦质谱检漏仪加压法等。

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　　2、抽空法。将被检容器内部抽空后，再把试验气体喷吹或涂抹于容器外壁可疑处，如有漏孔，则试验气体便从漏孔进入容器，同时用相应的指示方法将试验气体查出来，便可判断出漏孔的位置和漏气量的大小。属于这类方法的有静压升压法、火花检漏仪、氦质谱仪、放电管法、真空计法等。

　　采用什么方法进行检漏，这要取决于对真空系统的要求来进行选择，一般应原则上满足下面几方面要求：

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　　1、检漏灵敏度高，即选用检漏灵敏度值比允许漏气量小1~2个数量级的检漏方法；

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　　2、反应时间短，可提高检漏速度；

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　　3、性能稳定；

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　　4、应用范围广，即该方法能检查出漏孔大小的范围较广；

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　　5、结构简单，使用方便。【MechNet】