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1概述 EWTZ9G型陀螺是MEC公司生产的一种用来测量载体角速率的IC,该陀螺的英文名称直译为导电塑料旋转编码器(ConductivePlasticRotaryEncoder)。它是利用MEMS技术制作的,具有可靠性高,性价比高的特点。
H" D. K3 @, B g' f6 n表1EWTZ9G型陀螺的主要参数 / _7 r7 e: j# G; ~" `6 ~, R
% v8 g4 r7 s( k6 h3 `- p7 R/ b% d3 }8 S$ t% c- [0 D O0 k: u. l6 W7 @3 ^5 r4 Z2 e- g. k S2 c; a0 L# ]7 w8 c" I, `3 F% b; y6 o& |, _* U; Z# Z6 O2 ]0 J6 c1 J5 [7 S+ o5 D( S: N4 q3 S( H) M, \% ]9 { [: \. d5 R# Q) \0 L+ Z' x" {3 K$ Q; ?/ p) I2 x) |, O/ q) g: p. s9 l, ?( H- @) g {2 y: h* P. I5 ~) N$ y- o% z$ p( f. l" M, X- J. c# ^* l. E) [& `: u6 c/ c7 A( x9 A$ b. s* g' ?9 e6 X7 y6 X$ [8 V, `6 s* I: p& \+ z7 ]1 B( Q4 l3 i% J4 X+ s' }6 O! [# @2 p9 I) ?4 U, v# J1 y) U0 }# P7 x8 [$ ]8 j) c. W. p% F! j: k+ v+ I& ~' j4 [, o1 O5 }, q# f1 X- e, Q( E; c6 G& Z% |8 h# w; H" l; S( h) X/ R$ x, [- k% M# `9 p9 i% K2 G8 l5 p3 t2 } T$ w% |/ A9 C9 G3 w2 h% j5 |$ J6 x" e, X! j- ]4 D& S, G7 i( P# j, {1 v7 L5 Z5 x1 c, h1 O! L2 h2 ]+ v5 t% i9 C. Y, U. Y6 \. B; q/ P4 H9 x& F9 N3 K$ d4 d6 B- T4 j, c; P6 c. u0 X4 h% `3 M' a# Y+ P( l/ C- _5 p- i9 j5 K7 L8 t. D* u* Q9 Z! M* O9 l1 `) L( l, V, `0 C* S8 g" d# S" N" k7 ?' W) {" `- G$ P% S2 E% d; |6 J& M W6 I q: W( O0 s; y8 A6 A+ _) j- p, A$ I! X) b5 o6 x& T s0 Q5 |4 s2 d3 r% X) s5 Y/ t1 S" ^( P5 {( [/ D, s2 m9 q i* O3 q' H& w9 k/ N) z: X2 _) V5 L V1 m7 w# [# ~3 `: l" L" w" ^2 Q# ~9 _$ S; p2 B% |1 Q3 o. ~ }, r) [6 S8 w; ^; A2 K1 r. e+ ]" i4 K9 [5 ? ?* e# u- K% F8 g. ^, O/ @! D/ D6 N0 t2 t& w3 B8 K( n9 y6 C: R* g# j/ }% h& @" ?% B3 b7 T! g" Q: U$ g- u+ |& @# y6 o3 @, X6 N1 }2 n4 w: K ?5 e, L) G: ?( S2 x1 ?8 j: D6 m/ Q% `' u2 G! N$ @6 t% d0 u/ {8 y7 q/ M: y' A Q- U3 u! z/ J2 ~/ ] Q% K% `* |0 X# ?" [: X5 | ~9 `, N. ` n2 j( @( S6 F2 l$ U6 W- I! O' i6 V e) C8 k* E1 R' ^' E+ Q9 |0 s) l3 b5 b6 R- z4 h) z) n, o9 D' r5 B# B3 w6 C* U0 k/ j4 I! C, R, F9 ^8 R; e3 ]8 k5 V/ M3 ?* K: e9 [8 q" F0 @7 W/ g4 u. ]" U9 o2 l. p1 X Y# q7 W+ \! B) ?5 K* u8 H% g4 c4 k/ i o# x, }, {% K% U; v/ R% }- n. }7 J! X0 _+ m% v( W1 x' }: o3 }0 T# a$ ^ Y# n* D3 T/ D4 s$ x& w# d* {5 }7 \; p2 W8 s" l' b: o( i0 Y; F2 Y6 |; | H. F2 R9 O3 p2 \) Q5 ]( |, _; H/ _& ^! C2 j+ i* O7 P* V* z: h, V+ n$ N Z8 W) y. k6 g3 N4 B) N1 h. U d; X/ U( Z p+ i8 U5 E# y: K) P, R' R$ J: b0 q& q% n& _9 X' K. F& t. q5 C1 A" _' j1 Y3 A. X' f! j# y; l" g. r. u1 j8 ^) i+ g2 Y, k; z8 ^! Y( B5 G, d( y9 Q# N/ p+ ^* u" Y. v( i: N# Q( H+ \8 v$ Z8 @2 \# X) a+ }. \5 T5 A- n3 k5 M' ]4 Z! ^4 y0 p6 i4 f7 _6 T0 f4 Z# y: B, i" C( ~% [ s% M- g/ |8 J# m9 s4 J. u& L4 w+ [% T/ q1 o* @+ u4 D7 I8 o! h- n. v. Z$ D# b8 l2 q$ y' `# u5 [0 P% p' i$ E9 O) [# L7 w/ s4 @# A, p7 T" v& S$ o' E% b0 O% t& F9 |1 z- c. W% U4 w k+ {: n( o% F2 V3 L' c+ J- {0 E6 Y9 c3 _ G- k) c. N: S3 r; G( [" t) A) T* t* r. q4 U6 [4 h" d! `2 n, h- s5 v7 ?! S. v) d+ l J. v: B1 |, `' X' i+ ]( l; K" ?4 V' y, B; r9 O3 [, B3 @: D1 G, w' c$ C* A3 q8 `1 S+ M+ R2 v5 W1 Z7 `) Z g7 m8 d! w2 D5 E' E0 d N% y# {. f) }1 V3 a) A" e' e6 T' I p7 a' ? c+ a# P( |5 W- W" g- _: X1 W1 s" ?* i+ q# S3 g" t; j- x- S5 T+ v# |/ [: |; l8 s6 b5 C5 q) D1 ^6 ]) E( ?7 H! K+ X* _& ~0 I6 o4 b! A+ x" I& ]7 M2 @) i0 G3 N9 U4 b6 @* V8 M/ u, | J2 X* z# w1 Y/ m* m0 S$ X& ?2 R4 Z$ E. h$ D7 R! `; ?- K. E' N" |7 R. M* v) x3 V3 Q7 _4 s5 |, t) i) T# q0 ?, y( T; s% L4 Z* U! ^+ i. E% M, \0 u3 j; j" G% B, M/ p6 V$ o5 u: ]: I/ E) Q& d- e1 [# x% @; I" U2 ?4 k. `7 X8 I: ]; D8 V/ E& S6 M+ `# X& q; y+ S& b7 k1 l% f$ G& p5 R2 e! t6 u+ x, U% q9 u" i8 A0 A: C Q6 A1 y9 V( D, D. ~* _* U6 P# a$ Y* |/ s9 s" y) T/ j5 N: ?9 t- g. Q! w, H# d5 p! ]! N9 I6 o+ p! d5 f7 e; h# H2 G+ P! V/ G) c2 u! X8 p! J& l7 J% w9 T) `" P# q" _+ `% e8 Z& Q: W. n" [, F/ Y# w8 N2 w' a& b1 ?, v1 l2 o6 Q, n6 \4 F& m7 }8 m5 l4 `/ M. N+ K3 d# w; d+ p: ^, ]& }% o/ j' O0 j6 o$ d8 \9 n" B& h' L2 J6 P5 ~) B5 s/ Y7 W' W9 a. c! e! k% e3 u. `9 [) R. ]7 Q Q1 ]9 M/ e! [( `, w5 X5 q v7 _. i) J8 U9 \2 p, o. @: n! Z0 X/ @# z1 B" A5 G; t. d8 s; A' b$ g! g: Z3 P- t/ j5 s$ V! Z5 f ?1 F8 x2 c; \) h0 _. p, P* c6 R7 m: `7 q9 S& g3 T( W1 C! ^+ U% C" F6 U w$ c; V: ~1 M" o, m. J* H( T3 U1 I+ l2 m% i; Z) ?' p. J3 }4 V* @: O3 L% Y5 \- S1 F; E, G7 o, c6 X) _% O- v' |0 ]$ }; I- y/ E* |% O% E' }: ~$ T8 j+ k1 L5 b; ^+ f2 l% z& g4 U; x) j8 M2 f- g7 a0 Q* w$ p! Z3 Q4 j- L8 R4 c2 Q8 j; |: ^: M6 [8 Z( ]& i( _, [8 G/ A- u4 c" }9 n' F+ ^% H: a% u p. M. Q1 t7 p. u: ]/ l. j& E6 G2 c5 K/ ?" a7 j1 r9 H1 |' E! X/ R4 W5 \& m W9 f! Z8 M- T% X( Z, e+ I3 Q2 u [! [6 O9 p% p, a, u, F0 j$ B) C; n2 h$ T5 }0 N/ ], q9 P0 U5 o( L) ^' o7 H [' Z- W+ O/ s1 l# ]& H4 p- I) f( ?2 P6 _1 Q. a0 r+ P& ~3 Z s) a: o# L4 z3 @! v6 X/ ~% Z/ V; m4 \2 ~4 [. i3 U1 z( h. N' L e! D
6 J8 u6 W9 M9 h* w 序号 |
3 @0 l& c# W. b2 ]9 y; F2 `
内容 |
3 i1 P$ I3 C2 ^" q/ h
条件 |
3 k/ h/ E# _3 q( I+ c6 Z4 G- \" Y
最小 |
7 E6 |5 ]$ i0 _$ o( @: q1 Y 典型 |
: E/ C; X, k. C# r5 c# s% a! x; n
最大 |
, D; V6 u% @. i" Y$ m G/ V 单位 |
6 }* [- n) {( p) K3 E S 备注 |
6 J. K% `. o" E! w5 {
1 |
6 k( Z0 D( t* `/ p ? W
工作电压 |
|
! I' M( _% `- z J7 s) Z" [9 C) u. b 4.75 |
! l5 i8 W7 `. |' x- j 5.00 |
* u: f1 C; Q7 | 5.25 |
: h" C C3 f$ Z
V |
|
/ p8 W7 t) d& D: ~4 n
2 |
2 Y8 S- a" z7 y$ k$ X8 s5 Z; Y
工作电流 |
9 \. c: `; X6 D. G1 ` VCC=5.0V |
' ?* v% E6 f) b0 F) C# l 5.00 |
|
* z; i: }4 [/ D& F1 r 11.0 |
4 u$ h$ X B. M7 i mA |
|
; x2 g/ `' o' v5 S 3 |
' a$ y! A5 I0 {* r: K- u' s
最小输出 |
|
|
|
2 Y& K5 _$ x9 m* f& M
0.3 |
7 T8 T' F& V1 Y. E' x
V |
|
$ L8 k# `: w+ R% | 4 |
5 A7 K# z5 W2 J5 G/ P! q
最大输出 |
|
8 b* b) {* i# K& T$ S9 [, S( q VCC-0.3 |
|
|
' r- `5 f j! c' c. j$ r
V |
|
. r! Q- X# ?& x$ Q9 c, ?
5 |
/ Z, o; h8 E& Q4 c0 H
灵敏度 |
' `& t3 H a3 e! \ t* B
Ta=-30℃~80℃ |
$ f4 x$ [- Y; \% C) G4 z* s
22.50 |
z, Q2 K2 ~) T' L
25.00 |
" u' R7 `& E0 G
27.5 |
) O4 K4 U) ]5 q
MV/(deg/s) |
, j5 s% ~3 z9 K6 }0 v1 g
从25℃开始改变 |
1 E# s% d' t* \
6 |
8 D- j/ f7 U' u6 ~ 灵敏度漂移 |
0 s) _% s" o9 t: p Ta=-30℃~80℃ |
; ~" A j+ k/ h* Y7 O -5.00 |
|
, r/ B2 T7 B- H4 u8 h
5.0 |
7 a x$ b5 E G2 J % |
|
/ q( y; x9 k% F! h# s5 X
7 |
2 Q* A( p# E! O8 m' A# r# s
零点输出 |
3 Z- e1 t* i) [ Ta=-30℃~80℃ |
2 `0 W, Y9 c8 [5 f" L% P 2.10 |
J& I5 y3 J+ ?+ ~
2.50 |
+ A3 e* i4 T7 ?9 Q2 V 2.9 |
( q. \2 v' g% ^" p' ^$ q$ O V |
|
, V# |: {( E$ J1 n: @ 8 |
( Y' g1 n1 r' \$ V; C
零点漂移 |
$ c, ?3 k$ u q Ta=-30℃~80℃ |
5 X& H' ~ |' J8 O( [( W
-10.00 |
|
9 x* p0 K) ]1 W& J% H 10.0 |
) H* Y8 ]& S' j3 }* d: u8 ` % |
|
8 R# w$ I6 V9 i* ^" j
9 |
& t( H# g" I4 W3 W 动态范围 |
|
" ^ j7 R2 {$ r( M s
-60.00 |
|
; j/ o& a0 \, C& Z1 K' f: A 60.0 |
. S' p& K* t. O+ w- M$ Q7 n
deg/s |
|
% G. @0 L, [5 Y 10 |
( M+ n/ j1 Q: y/ S0 ~ 输出噪声 |
|
|
|
Y4 x5 z9 B; l2 J 10.0 |
, e2 Y* z$ R/ g8 ~- s4 a mVp-p |
|
K( g. a* K4 d! V% R- p
11 |
. W4 [1 `, T2 v* f' l 启动时间 |
|
|
|
& g" d8 c7 V6 m0 y3 T; G( r: w 1.0 |
9 m8 N+ A7 R, X" M5 e3 R' F5 G
sec |
|
1 Y" s$ I9 S9 p% x% s0 W
12 |
% S: ]9 x/ M4 C# Y: T 零点稳定性 |
! k$ J2 o$ c# X" n8 U; t b- Y 0~5min |
/ m! O- g$ d; r7 P1 {1 z3 m. n -25.00 |
|
8 Z# C9 g5 y. h% p+ A 25.0 |
4 {' n X, I/ Z0 B _1 w mV |
|
" H0 n0 N7 p! _ 5min~15min |
; U, ]- ^/ p4 ^! N3 _) ^* u
-10.00 |
|
e' ?) v4 O3 w3 ]6 \( [
10.0 |
|
/ o- {! ~- E+ E; C
13 |
% f* V" `( p( d# h 线性度 |
1 j; }. Y, H1 L3 }! d2 I& K. ~) f <50deg/s |
3 F8 s6 `' g8 \; E8 p- A -0.50 |
|
9 g9 s/ w% X8 F, m: C/ l 0.5 |
2 g, K8 k3 f. C7 E
% |
|
& I7 X0 w$ i P9 m" C: D
50deg/s~60deg/s |
) a/ G- }( w* v6 S -5.00 |
|
! A5 o8 d8 G9 g3 M4 O7 x
5.0 |
|
8 k; @% R* Q, V- C1 k0 n 14 |
4 A0 N, U& \7 P; p* m; C! y 横轴灵敏度 |
|
; E5 I: c$ a% ~! p% j% x# d7 N( N
-5.00 |
|
7 ~/ r: n2 @" H& x1 O 5.0 |
. A- H/ O c' G# X % |
|
' A" |1 g* e0 i1 D
15 |
- B- W+ V" {7 f E
频率响应 |
; o M, _ J3 x3 m' N9 B4 g 7Hz |
5 P b0 r% }$ E, g; X, v! \* y! t) Q% _
-7.00 |
|
. q/ R# |! \) M+ h( r7 P
-2.0 |
7 F% E- s0 B" H$ P0 E
dB |
|
2 [) u3 Y8 v) S9 P" f$ O 16 |
3 J7 D, j( w1 s y) K
零漂温度特性 |
[/ s# n; ~8 }, Y$ q o q- s
-30℃~80℃ |
+ R& \5 `" v- `
-50.00 |
|
. j+ u' e s- |) L0 v. b
50.0 |
4 }% w7 A- a& ~, `4 u; M5 }
mV/7.5℃ |
$ x- r% d9 o) E1 L 7?5℃为检查时的测量间隔 |
3 p8 F" I. C0 {8 ?* p8 p. k9 _3 o) |$ W5 T 17 |
, I3 Y& r& o5 z/ E0 a
零漂电压特性 |
|
. d& d* N7 d3 I$ z" y# E2 X 0.70 |
|
! t: [ [+ |0 j; ~
1.3 |
|
|
6 y; |( d+ G! [$ z- Z6 r 18 |
9 @: _0 [# X+ n+ k. p
灵敏度电压特性 |
|
3 @" B' n u# g; s" \. O 0.80 |
|
! Z# s- h0 w0 o p 1.2 |
|
| $ x! f4 a9 {/ q' @. k% ~0 a
2电气特性及特点 2.1电气特性 输入电压:-0.3V~+16V 电流消耗:30mA 工作温度:-30℃~+80℃ 贮存温度:-40℃~+85℃ EWTZ9G型陀螺的主要参数如表1所示。 2.2需解释的几个参数 (1)启动时间:陀螺从加电到输出信号稳定时的时间间隔。 (2)动态范围:陀螺可测量的角速率范围。 (3)测量上述特性参数时,在输出端和地之间并入一个100kΩ的电阻器和一个0.01μF的电容器。 3使用要求 3.1焊接 (1)焊接:使用无腐蚀性的松香,应用无化学反应的酒精溶剂,防止焊液流入传感器; (2)预热:100℃; c, o7 i" s M6 ?* E2 Q: o! h

- t( c- Z+ u4 k! Y- O# h图1装配面
6 Y! F6 @, `0 {% N8 w4 M 4 b$ m; _ A( t) R* p
图2焊接面
, K3 v6 T- `( m) m6 p3 q7 F / h9 b2 v% }5 @
图3参考电路 1 o/ i" A; Y* s! t* B* ^. I
(3)焊接条件(推荐); 焊剂:JISZ3238,H60A或H63A, 温度:250℃, 时间:小于5秒; (4)冷却:为了防止由于热量造成的传感器恶化,应马上用风冷; (5)手工焊接 烙铁:20瓦或更小功率,温度低于350℃, 时间:小于3秒; (6)其他:注意在焊接端点时,订牢陀螺上的两个小垂片。 3.2清洗 如有清洗的必要,请参照表2所示的清洗剂。 + o2 [. K. Y, t" Y
表2清洗用的清洗剂
p4 j1 P( T; z! F3 Y7 Q) G+ Y; y5 z: B$ ?0 O/ {7 l; c" ?9 j7 J# t4 e# A9 h' R5 Y' g2 S" i" n. q: \ G$ e$ }3 f, Y. [2 g# g) @: i$ {% H! Q9 \( Z) F2 M1 P, d) ]8 a, M ~. h& H8 C5 B5 B- K4 }& Q7 t5 Q6 i7 ]* _3 w7 a9 X7 e8 V3 _9 j/ n6 Y. a$ k7 O. c& V6 h# V( \7 [) Z1 }1 P9 m% V8 \# I. X3 A/ O7 C3 p2 v- {; ~7 m0 j) x7 k+ _6 u6 }3 o$ c' h* C- `0 N( c6 T# O/ p1 H5 I) Q- g/ Q( j. {+ i7 K; d: O" H- M9 l# k/ m9 `% C. K% h- ]) w- j5 Y( k' |# z: q9 E/ j" k; I4 g& k8 i% ~, p0 S. G) K& i, i; y3 t& w. Q8 Q% h+ k0 v7 k7 t5 P8 W* w3 Z) N( Y1 o$ i! ^2 w7 U$ S! D" L6 A4 x( s( N# H. e8 Z9 s" c( m L) e
: g1 ?5 e& K6 K0 }) U0 d" A
溶剂 |
( }" ]9 c0 ^ l' a& A0 s" p 举例 |
, I* g* s9 M5 o1 d9 t/ B 可用与否 |
1 ]. _* N- p0 z q 氯化物 |
0 y( c# p& s) F& g+ V
三氯化烯 |
. Z/ b5 ]. P/ T7 `
可以 |
# B; X8 s6 `( w5 D# |; c$ b 氟化物 |
5 ~: o( a3 A+ e+ A- B 氟里昂(TF,TES,TE) |
" {; l; t. n7 X' d2 K2 `& @6 E9 O 可以 |
, J0 F x9 u1 J; V& C) \( ?7 l% y 纯净水 |
|
/ W+ p7 T5 t7 c: F6 n; P' i
可以 |
8 N. a, X) o% T 酒精 |
: K. [; C) b. e4 m4 J' y IPA,乙醇 |
( M* X; Z' L/ b% C z g+ w7 t: L
可以 |
/ H q! ?( A* c+ n9 U 其他 |
( a- y4 e, m2 W 汽油 |
" ]- k! g* @: y# B- U t% C; R 不可以 | 9 X4 N, H" r& b: _2 W
3.3操作 轻拿轻放,注意不要用重物挤压及从高处坠落。 3.4电路板布局方式 参照图1和图2。 需注意以下几点: (1)在陀螺下设计一个宽大的接地面,小垂片应与地相连。 (2)在输入电压和信号电压与地之间加入一个小电容器(0.01μF~0.1μF)。 (3)应用一个电容器(47μF~100μF)作为输入电压的备份。 3.5布局 由于该陀螺因为周围的环境有零点温度漂移,在应用该陀螺时,布局上应考虑以下几点: (1)不要将该陀螺安放在热源附近,例如变压器。 (2)不要将该陀螺安放在影响热辐射的地方。 (3)不可将两个陀螺安放在同一块印刷电路板上,由于每个音叉的振动会引相互的零点输出,发生周期性的漂移。 3.6消除外界振动 为了防止外界的振动对该陀螺输出性能的影响,在设计印刷电路板时有以下几点注意事项: (1)推荐使用环氧树脂印刷电路板,将传感器安装在靠近螺丝处,控制其共振频率在300Hz以上。 (2)注意不要让别的部分接触传感器。 (3)不可使固定电路板的螺丝松动。要进行详细的振动测试。 3.7参考电路 参考电路如图3所示。 (1)注意应用100kΩ的接地电阻。 (2)因为该陀螺没有供电备份部分,一旦掉电,陀螺的调谐音叉就会停止振动,重新启动将需要1秒钟的时间,因此应在供电线路中接入一个电容器以防止掉电。 (3)反向电压或大于16V的电压会损坏传感器。 (4)进行A/D转换时,和A/D转换模块共用5V电压。 (5)该陀螺的电磁兼容性中的壳体防护取决于电源接地还是外壳接地,计算组件后才可决定。 4典型应用 在作者的一项课题中,应用该陀螺与某型号加速度计组成惯性测量单元,进行短时间的制导解算,取得了理想的效果。
2 S! X. T8 ^8 c8 g; n. z
5结束语
. ]8 _! V0 J9 l" m EWTZ9G型陀螺作为一种微机械陀螺,具有适当的精度和较低的价格,在科研及生产中必将获得越来越广泛的应用。
& S$ L$ W$ k6 M I0 F1 V j |