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[资料] 特种加工——电子束加工

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发表于 2011-7-13 23:52:54 | 显示全部楼层 |阅读模式

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  在真空条件下,由电子枪中产生的电子经过加速,聚集,形成高能量大密度的细电子束,轰击工件被加工部位,使该部位材料的温度高至熔点,从而被溶化,气化蒸发去除,达到加工的目的。电子束加工,具有以下特点:7 R9 x' x$ P7 v9 \# p
  1电子束能够极其微细地聚焦,能聚焦到0.1微米,故适合深孔加工。2 R( v: ?: [/ r: P/ Q
  2由于在极小的面积上具有高能量,故可加工微孔,窄缝等,且加工速度快,生产率高。$ T6 T" B8 x2 ]4 ~# L/ \
  3加工中电子束压力小,主要靠瞬时蒸发,故工件发生的应力及变形均很小% t7 f8 j$ }$ |4 x
  4加工过程易实现自动化,电子束的强度和位置用电、磁的方法实现控制比较容易,可进行程序控制和仿型加工。由于需要高真空、高电压条件,故设备较复杂,多用于微细加工和焊接等方面。% z3 B6 `/ c' e' G9 t: e! O
文章关键词: 电子束加工
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