论坛有CMP抛光的高手吗

18003860796 · 发表于 2015-8-18 09:58:24

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希望论坛从事CMP抛光的都来介绍一下自己的经验，

zxq0220 · 发表于 2015-8-19 08:16:51

1、要保持抛光时工件单位面积压力稳定；
2、抛光液过滤精度要高；
3、选择合适的抛光液，控制抛光液的浓度（测比重、测PH值，使用时搅拌）；
4、根据抛光工件材料选择合适的抛光垫。

caishuidong · 发表于 2016-7-27 18:49:07

我刚刚从事这个行业，多多指教

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