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[交流] 激光干涉仪线性测量,保证机床加工精度!

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发表于 2022-11-9 14:36:43 | 显示全部楼层 |阅读模式

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数控机床因为高精度、高效率、多功能等优点,广泛应用于各行业中。为了保证机床的加工精度,需要用到激光干涉仪对它们做定期精度检查,这样才能保证加工产品的质量。' F& r! l! K- ^0 }. H
% ?9 `  J5 d: I6 W$ g. [1 B
线性测量是激光干涉仪用来检定机床定位精度的一种常见测量。# H" R1 Y5 u) M& |# L4 G
( Y& g$ H2 ]! e; {. u

4 C0 }: \! u+ k/ {3 n线性测量构建/ y$ c) D0 [3 t9 L* t* q
进行线性测量需使用到“线性干涉镜”(由分光镜和角锥反射镜A组 成)和“线性反射镜”(角锥反射镜B)。激光从SJ6000主机(激光头)出射,通过分光 镜后将分成两束激光,一束激光为通过角锥反射镜A的参考光,另一束激光为通过角锥反 射镜B的测量光,通过移动“线性反射镜”可实现运动轴的线性测量。0 c; d% M0 x  y- E* T
图片1.jpg
线性测量原理构建图
' T! P! m/ ?/ X
图片3.jpg
水平轴的线性测量示意图

# h, e0 Q' \% @
图片2.jpg
垂直轴的线性测量示意图

% m+ I- R: o$ y# TSJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术,可以输出高精度、抗扰力强、高稳定性的激光频率。其线性测量可满足(0〜80)m范围内的精密测量,主要应用于测量直线导轨的定位精度、重复 定位精度和反向间隙等。& T6 {- r! ?. {6 g" V

6 Y0 Z# C8 d' H: u" m% K, }3 ]
图片4.jpg

" n/ }6 }+ E/ B# m
图片5.jpg
数控机床的线性测量

; O- Q7 B1 t: y8 Q
图片6.jpg
数控机床倾斜轴的线性测量
1 V- L! o( \' d5 a
线性测量步骤:
  i6 H  R5 J# S. g1、设置激光器系统以执行线性测量;
2 P3 t- w1 p& U* L: c2、使激光束与机床的运动轴准直;
5 x* k& M6 z' _/ _" s& W3、启动自动环境补偿功能,确保在软件中输入正确的材料膨胀系数;% M% k+ R6 o4 [/ K, N
4、测量和记录机床的线性误差;
9 p4 l& E) o0 G2 g7 K5、分析数据。  C$ f; r. ^  O0 O
+ H& N" |5 b  y/ m4 _, p2 h
注意事项
; h. F5 E; A/ ~3 h  b5 l6 a1、线性测量过程尤其是在测量与激光头成直角的水平轴和垂直轴、斜轴的时候,光路调节困难,这时候就需要巧妙安装反射镜和折射镜。# y( t& w( S* G: ~1 D( T( ~8 T
2、使用光靶能简单准直激光束+ K( ^$ T7 \  z  ~$ n5 A& O( B* C
3、在开始测量时,或者在返程测量时激光干涉仪不踩点,可能原因有:3 E( [9 s# C9 x5 j4 d& n( @  h
(1)光强太弱;
- n2 r7 N; W- B0 K! ](2)当返回测量时,激光干涉仪不采集数据。这时候要分析“越程”量设置是否正确,或是机床在程序运行中有没有考虑“越程”。4 P1 l5 a3 M/ ]3 `6 f6 V" ~, U# x
4、线性反射镜箭头方向就是激光进行方向,一定要正确组合线性反射镜组。- o$ h  P8 i2 E* }
5、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直,这将为后面进行找正光源做好基础。( r# i& V; s" d* Y# J
6、激光头预热时间会根据气温的变化而变化,所以在测量数据前要保证在激光波长稳定后进行。
0 F2 W$ {* V/ P3 v8 e4 o7、测试工作完成后,应先将激光头电源关掉,关闭电脑。& x& P4 l* A- C
# a* E/ A! u: t% n

1 T1 k/ S& a0 }9 y# Q1 `0 T) x1 b
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