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[交流] 激光干涉仪线性测量,保证机床加工精度!

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发表于 2022-11-9 14:36:43 | 显示全部楼层 |阅读模式

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数控机床因为高精度、高效率、多功能等优点,广泛应用于各行业中。为了保证机床的加工精度,需要用到激光干涉仪对它们做定期精度检查,这样才能保证加工产品的质量。
' Y- J, q; V$ Y% {4 y+ P( @  J( [/ v, v2 }
线性测量是激光干涉仪用来检定机床定位精度的一种常见测量。
* t$ r+ ]/ [( G+ I4 s0 ?2 j" H* Y
  c9 y, o  n8 R% G
) C( h. f+ o. v( Y线性测量构建/ `! i3 Z2 _- ~$ U
进行线性测量需使用到“线性干涉镜”(由分光镜和角锥反射镜A组 成)和“线性反射镜”(角锥反射镜B)。激光从SJ6000主机(激光头)出射,通过分光 镜后将分成两束激光,一束激光为通过角锥反射镜A的参考光,另一束激光为通过角锥反 射镜B的测量光,通过移动“线性反射镜”可实现运动轴的线性测量。
4 e; u: {4 ]/ d& L. ?" P
图片1.jpg
线性测量原理构建图

* P7 ]* L2 _# ?4 X
图片3.jpg
水平轴的线性测量示意图

+ l2 Y/ i, v2 |6 g
图片2.jpg
垂直轴的线性测量示意图
' U* Z! Z6 W5 H7 Y- \2 J
SJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术,可以输出高精度、抗扰力强、高稳定性的激光频率。其线性测量可满足(0〜80)m范围内的精密测量,主要应用于测量直线导轨的定位精度、重复 定位精度和反向间隙等。; h& @6 |4 D  g7 q' I% U: C5 O

* N* A" Y6 O8 z- Q. T
图片4.jpg

) b8 ]" C, {: a/ b. g6 @+ x9 v. c6 [
图片5.jpg
数控机床的线性测量

6 D! ~* J3 k: y6 L
图片6.jpg
数控机床倾斜轴的线性测量
% A0 h. S' s# s  M% Q; q  a
线性测量步骤:
; F0 Q8 K7 Z- y" g. K7 F1、设置激光器系统以执行线性测量;
! B) l) |! B/ m0 V' F4 Q8 U1 z2、使激光束与机床的运动轴准直;. y( C/ [9 p& _# n1 c" O
3、启动自动环境补偿功能,确保在软件中输入正确的材料膨胀系数;% h; Q. T" Z1 r- E2 b! A+ \
4、测量和记录机床的线性误差;. v" p0 U' K7 C. B$ r) B
5、分析数据。& J- v" V* q' o

* V& g% P/ [0 S) e注意事项
8 G) b; D  `% w; p. s1、线性测量过程尤其是在测量与激光头成直角的水平轴和垂直轴、斜轴的时候,光路调节困难,这时候就需要巧妙安装反射镜和折射镜。
4 F2 ]% Y6 `! O2、使用光靶能简单准直激光束0 b$ d# Q: b. {* J6 X. |4 Q
3、在开始测量时,或者在返程测量时激光干涉仪不踩点,可能原因有:* s) B/ S  `0 |) `% A: \
(1)光强太弱;8 Y/ n$ {9 X* [; I2 D6 J; L
(2)当返回测量时,激光干涉仪不采集数据。这时候要分析“越程”量设置是否正确,或是机床在程序运行中有没有考虑“越程”。: g5 Y! M2 Z; r2 M3 N8 x
4、线性反射镜箭头方向就是激光进行方向,一定要正确组合线性反射镜组。
5 o( R2 t+ h$ o4 K5、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直,这将为后面进行找正光源做好基础。
8 n+ k# k6 D) ~4 Q# \2 t1 i% c6、激光头预热时间会根据气温的变化而变化,所以在测量数据前要保证在激光波长稳定后进行。' ?; `/ K7 H! ]7 V
7、测试工作完成后,应先将激光头电源关掉,关闭电脑。
$ d* T2 F# D' C1 N0 {" a! s* p0 l* u- G3 D" p( ]/ W

' E: t. S& B' [# I% R2 [; k1 h
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