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[交流] 激光干涉仪线性测量,保证机床加工精度!

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发表于 2022-11-9 14:36:43 | 显示全部楼层 |阅读模式

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数控机床因为高精度、高效率、多功能等优点,广泛应用于各行业中。为了保证机床的加工精度,需要用到激光干涉仪对它们做定期精度检查,这样才能保证加工产品的质量。* c$ a0 Z5 J) T. W

+ }0 j* k6 q$ n! T1 k线性测量是激光干涉仪用来检定机床定位精度的一种常见测量。
, i4 ]4 C( @* }. p) G, r
% v# h+ ?  K+ S6 e, B, O- E* x( [/ I. j% |0 r) C
线性测量构建% n' Q" Y  P6 S: n9 L0 _% C. V
进行线性测量需使用到“线性干涉镜”(由分光镜和角锥反射镜A组 成)和“线性反射镜”(角锥反射镜B)。激光从SJ6000主机(激光头)出射,通过分光 镜后将分成两束激光,一束激光为通过角锥反射镜A的参考光,另一束激光为通过角锥反 射镜B的测量光,通过移动“线性反射镜”可实现运动轴的线性测量。$ c$ P7 k( H% ~* J9 f" P
图片1.jpg
线性测量原理构建图

; \9 I: O7 z8 C
图片3.jpg
水平轴的线性测量示意图
# x2 `3 A. I, V; y; W# O2 q9 q
图片2.jpg
垂直轴的线性测量示意图

- C% L, W# T# p5 }9 kSJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术,可以输出高精度、抗扰力强、高稳定性的激光频率。其线性测量可满足(0〜80)m范围内的精密测量,主要应用于测量直线导轨的定位精度、重复 定位精度和反向间隙等。
, L! X; r; a1 _
; l6 R# u: ^/ l
图片4.jpg

; K- J% t3 W1 L: Y# F1 b
图片5.jpg
数控机床的线性测量

3 u. j% v! h/ q4 _1 o* G- h) q. k
图片6.jpg
数控机床倾斜轴的线性测量

. h/ k% l' j+ ]' C" n1 k  g$ Z+ z线性测量步骤:
. y) h! ]; R7 `1、设置激光器系统以执行线性测量;
* \- y: R' o6 E6 j+ r6 i2、使激光束与机床的运动轴准直;* u* Z( l* Z5 A& o4 C
3、启动自动环境补偿功能,确保在软件中输入正确的材料膨胀系数;
3 m6 d' _% W. `7 ~: V4、测量和记录机床的线性误差;
: x) F: j8 T# v. A3 c' Y5、分析数据。
; S/ ^' Z* c9 U  Z" m9 U( U
. ^& H( w' f) k& `1 j* u% u注意事项
7 ?( Z. ]8 o. N8 o1、线性测量过程尤其是在测量与激光头成直角的水平轴和垂直轴、斜轴的时候,光路调节困难,这时候就需要巧妙安装反射镜和折射镜。
  Y* b* I) O+ _' C1 Y# P( I2、使用光靶能简单准直激光束
" k" F3 p# W% ]5 e3、在开始测量时,或者在返程测量时激光干涉仪不踩点,可能原因有:: K5 P2 Z% j8 Y% t. f: ^
(1)光强太弱;# A1 T- z, t# @( L4 w- D
(2)当返回测量时,激光干涉仪不采集数据。这时候要分析“越程”量设置是否正确,或是机床在程序运行中有没有考虑“越程”。
2 n# J. H! N& ?$ ]! x) ?4、线性反射镜箭头方向就是激光进行方向,一定要正确组合线性反射镜组。" Q0 q' x, U9 Z. S  ]) q
5、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直,这将为后面进行找正光源做好基础。
2 ]& B& W- Y9 _( P6、激光头预热时间会根据气温的变化而变化,所以在测量数据前要保证在激光波长稳定后进行。# c' o" o- u6 C1 c
7、测试工作完成后,应先将激光头电源关掉,关闭电脑。0 }" I% o: Z/ ^6 G
: S% O+ }! J6 l. q- {! f

* y8 e/ z$ ?" p5 D6 W# n
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