激光干涉仪线性测量，保证机床加工精度！

szzhongtu5

数控机床因为高精度、高效率、多功能等优点，广泛应用于各行业中。为了保证机床的加工精度，需要用到激光干涉仪对它们做定期精度检查，这样才能保证加工产品的质量。
6 R8 y4 P, F5 G; ]
线性测量是激光干涉仪用来检定机床定位精度的一种常见测量。
7 o6 m# i. g% _* e; N  U' Y9 J
/ ^' I  J4 p6 q8 b/ r
线性测量构建
4 B: {' d( n1 j6 X进行线性测量需使用到“线性干涉镜”（由分光镜和角锥反射镜A组 成）和“线性反射镜”（角锥反射镜B）。激光从SJ6000主机（激光头）出射，通过分光 镜后将分成两束激光，一束激光为通过角锥反射镜A的参考光，另一束激光为通过角锥反 射镜B的测量光，通过移动“线性反射镜”可实现运动轴的线性测量。

线性测量原理构建图

水平轴的线性测量示意图

# I2 n* _' Q2 i( @; }

垂直轴的线性测量示意图

2 R& o& Y0 ^; c% h9 A/ }% VSJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术，可以输出高精度、抗扰力强、高稳定性的激光频率。其线性测量可满足(0〜80)m范围内的精密测量，主要应用于测量直线导轨的定位精度、重复 定位精度和反向间隙等。
5 r. T) `% g3 C" J2 n0 l

数控机床的线性测量

数控机床倾斜轴的线性测量

9 X( B% o. ~+ ^线性测量步骤：
1、设置激光器系统以执行线性测量；
% ^0 G& X, `5 T5 \8 h. x1 a2、使激光束与机床的运动轴准直；
3、启动自动环境补偿功能，确保在软件中输入正确的材料膨胀系数；
4、测量和记录机床的线性误差；
5、分析数据。

* e/ ^7 x! P; m- Q0 q. V注意事项
1、线性测量过程尤其是在测量与激光头成直角的水平轴和垂直轴、斜轴的时候，光路调节困难，这时候就需要巧妙安装反射镜和折射镜。
2、使用光靶能简单准直激光束
2 D5 |# q4 n5 ?3、在开始测量时，或者在返程测量时激光干涉仪不踩点，可能原因有：
( q! H1 Y2 U7 n（1）光强太弱；
7 t! m5 Q* p2 m3 e' h（2）当返回测量时，激光干涉仪不采集数据。这时候要分析“越程”量设置是否正确，或是机床在程序运行中有没有考虑“越程”。
. u  p# m' U: O. Q4、线性反射镜箭头方向就是激光进行方向，一定要正确组合线性反射镜组。
1 I6 l  G5 u, k5、反射镜组的一条边棱与永磁体座尽量平行或垂直，这将为后面进行找正光源做好基础。
6、激光头预热时间会根据气温的变化而变化，所以在测量数据前要保证在激光波长稳定后进行。
7、测试工作完成后，应先将激光头电源关掉，关闭电脑。
1 ?8 @5 _# b( t  a4 ^2 D
6 P0 I0 Q7 Z5 q2 ?+ Z2 q