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台阶仪二维超精密测量微观形貌

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发表于 2024-3-1 16:09:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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台阶仪通过扫描被测样品表面,获取高分辨率的表面形貌数据,能够揭示微观结构的特征和性能。
# C; I- M2 C4 |% @. k% ~! K: ^* [了解工作原理和性能特点
" i7 g2 ~" o. \" \& \+ m台阶仪利用扫描探针在样品表面上进行微观测量,通过探测探针和样品表面之间的相互作用力,获取表面形貌信息。具体而言,扫描探针通过细微的力变化,测量样品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通过数据处理,形成高分辨率的图像。! l. Q7 d( r4 Y# f7 k  o( R" O( ~5 y
它能够实现纳米级别的测量,对微观结构的细节进行观测和分析,揭示出表面的微观特征;还具备高速扫描的能力,实现快速获取样品的形貌数据。
. `* @, @6 U3 ]* j. y  h4 W6 ^+ _; e  `
功能和作用介绍" O- M- v8 _0 l: p  H" a" e% x- Y
作为一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。测量参数:5 d& N+ d9 k/ |' R* m: o
(1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度;
) c" X( J: M/ N1 p* d+ N" O. {(2)粗糙度与波纹度:可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;' s3 u( p+ o9 ~8 a( o+ m5 g
(3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲。
; o# `/ ?4 }$ R1 x5 a% q4 ]: E$ Z/ S
台阶仪的应用" _# o; r! o+ z/ X' s5 a1 l
台阶仪具有广泛的适用范围,在科学研究、材料表征、纳米技术、半导体制造等领域都有应用。如在半导体制造中,台阶仪可以用于检测半导体材料表面的缺陷和形貌,为半导体器件的开发和生产提供可靠的数据参考。& X8 ?0 o3 v; b! }3 v% |
台阶仪具备出色的精确性和稳定性,而且样品适应面广,对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。在材料科学、制造业、科研等领域都有着重要的应用价值。相信随着科技的不断发展,台阶仪将会在测量领域发挥更加重要的作用。
1 e# U! d0 A) n: f
: |; E3 C4 z3 C- b: j2 L( k台阶仪优势总结
% \, Y5 ?, i; ~1、高精度的测量能力. U7 e8 [; d' j  F- p0 E
台阶仪在微观表面形貌的测量中非常准确,能够满足高精度测量的需求。CP系列台阶仪具有亚埃级分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性。其500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。
, n* X6 d( q  ]7 @+ X; m% n采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪测量ITO膜厚,高精度测量同时不损伤样件本身。
4 _; d+ O7 q  I4 d+ E9 c5 k) I1 C2、快速测量的能力
1 G! X1 d$ l: p1 G' u台阶仪配备精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。快速获取表面的高程数据,将测量结果以图形的形式展现出来。这提高了测量效率,减少了测量时间。
" A# a: v' c+ q* l0 F5 y* T9 B& h3、广泛的适用范围1 w6 l- r7 [& G: c2 u
台阶仪可以对各种不同材料的表面进行测量,包括金属、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面还是曲面,台阶仪都能够轻松应对,确保测量结果的准确性和可靠性。
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