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台阶仪二维超精密测量微观形貌

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发表于 2024-3-1 16:09:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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台阶仪通过扫描被测样品表面,获取高分辨率的表面形貌数据,能够揭示微观结构的特征和性能。
7 B  j7 t! o1 b) K# B, I* l了解工作原理和性能特点% ^0 G9 `, [# K9 W! J8 o8 P3 ]- n
台阶仪利用扫描探针在样品表面上进行微观测量,通过探测探针和样品表面之间的相互作用力,获取表面形貌信息。具体而言,扫描探针通过细微的力变化,测量样品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通过数据处理,形成高分辨率的图像。, v- s( g8 {% \  O- ~1 W' ^
它能够实现纳米级别的测量,对微观结构的细节进行观测和分析,揭示出表面的微观特征;还具备高速扫描的能力,实现快速获取样品的形貌数据。8 W% Q, U% l: Z8 ?* h# S; a: e: a

6 ^6 d  e/ L' Q" d6 H功能和作用介绍1 {& h( H- c" q0 ?
作为一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。测量参数:
7 u8 p5 T  q/ ](1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度;5 d8 q) @8 M8 w1 u3 ]
(2)粗糙度与波纹度:可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;
8 m, P+ E! ~/ V6 T9 n7 \4 l9 S(3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲。
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. `0 m( E3 B( W1 ]& N. J  f+ F" D台阶仪的应用
, j$ G' R4 _6 W6 j9 F+ I台阶仪具有广泛的适用范围,在科学研究、材料表征、纳米技术、半导体制造等领域都有应用。如在半导体制造中,台阶仪可以用于检测半导体材料表面的缺陷和形貌,为半导体器件的开发和生产提供可靠的数据参考。
6 Z1 Z! N( g; W4 d# R台阶仪具备出色的精确性和稳定性,而且样品适应面广,对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。在材料科学、制造业、科研等领域都有着重要的应用价值。相信随着科技的不断发展,台阶仪将会在测量领域发挥更加重要的作用。
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# x5 e3 R7 n' m' ]4 v6 R& ~台阶仪优势总结# Z6 x+ b- Z4 j' b% @' L
1、高精度的测量能力5 y, N" ^- `. P! @/ [/ S
台阶仪在微观表面形貌的测量中非常准确,能够满足高精度测量的需求。CP系列台阶仪具有亚埃级分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性。其500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。
) ]( p/ l7 @3 I0 }5 E采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪测量ITO膜厚,高精度测量同时不损伤样件本身。; p. }0 Y: B  Y& B$ J
2、快速测量的能力$ e5 z2 J8 n$ l
台阶仪配备精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。快速获取表面的高程数据,将测量结果以图形的形式展现出来。这提高了测量效率,减少了测量时间。
2 p$ g# U) H- ?, n3、广泛的适用范围& Q2 q6 I/ |# l0 C& c4 J3 m
台阶仪可以对各种不同材料的表面进行测量,包括金属、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面还是曲面,台阶仪都能够轻松应对,确保测量结果的准确性和可靠性。
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