找回密码
 注册会员

QQ登录

只需一步,快速开始

扫一扫,访问微社区

查看: 4868|回复: 0

台阶仪二维超精密测量微观形貌

  [复制链接]
发表于 2024-3-1 16:09:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

马上注册,结交更多好友,享用更多功能,让你轻松玩转磨削论坛

您需要 登录 才可以下载或查看,没有账号?注册会员

×
台阶仪通过扫描被测样品表面,获取高分辨率的表面形貌数据,能够揭示微观结构的特征和性能。
8 t' ^  ]8 Z( P& U( r了解工作原理和性能特点2 g2 N1 k) a+ ~4 R+ ?  s% Y
台阶仪利用扫描探针在样品表面上进行微观测量,通过探测探针和样品表面之间的相互作用力,获取表面形貌信息。具体而言,扫描探针通过细微的力变化,测量样品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通过数据处理,形成高分辨率的图像。  r5 m% c1 x/ u
它能够实现纳米级别的测量,对微观结构的细节进行观测和分析,揭示出表面的微观特征;还具备高速扫描的能力,实现快速获取样品的形貌数据。6 H% @7 D$ \& T9 O

/ X7 N! i/ s( K) a9 {& l功能和作用介绍
$ I- A2 i9 n" l# ]& c作为一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。测量参数:& W7 Q  {' u; X; o/ f
(1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度;* W& f- x/ q. r3 ?# f
(2)粗糙度与波纹度:可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;
3 F, I5 X  Y) C. n) @' w(3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲。
. z* E, ?/ y: m% {! R1 O4 a* e' _$ T- U# o3 b& x
台阶仪的应用5 f3 i, F. P6 e: i  M
台阶仪具有广泛的适用范围,在科学研究、材料表征、纳米技术、半导体制造等领域都有应用。如在半导体制造中,台阶仪可以用于检测半导体材料表面的缺陷和形貌,为半导体器件的开发和生产提供可靠的数据参考。
. @# q  x# U( S' b台阶仪具备出色的精确性和稳定性,而且样品适应面广,对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。在材料科学、制造业、科研等领域都有着重要的应用价值。相信随着科技的不断发展,台阶仪将会在测量领域发挥更加重要的作用。
: _- \. ~8 Z4 p1 c3 a; K
* Q" p" R! o7 K2 _4 m3 j/ W! Q0 U" J台阶仪优势总结
, X' h2 y7 a) E3 o9 K: R1、高精度的测量能力
2 o; @) u; Q2 @; R  Q, Q台阶仪在微观表面形貌的测量中非常准确,能够满足高精度测量的需求。CP系列台阶仪具有亚埃级分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性。其500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。
& }. f. @) F) e: D1 I采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪测量ITO膜厚,高精度测量同时不损伤样件本身。  w4 x9 M6 @1 ~0 p( s
2、快速测量的能力3 _' M+ w' s$ @/ m  `
台阶仪配备精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。快速获取表面的高程数据,将测量结果以图形的形式展现出来。这提高了测量效率,减少了测量时间。6 u6 H. l8 y) g4 `1 y7 m
3、广泛的适用范围
8 C. z6 X) v/ G, a4 ], a台阶仪可以对各种不同材料的表面进行测量,包括金属、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面还是曲面,台阶仪都能够轻松应对,确保测量结果的准确性和可靠性。. C$ i5 c4 l& r, }

; J, z. K1 i4 ?) O9 ]8 F& O; T) m) p' Y8 B* y
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册会员

本版积分规则

中国磨床技术论坛
论 坛 声 明 郑重声明:本论坛属技术交流,非盈利性论坛。本论坛言论纯属发表者个人意见,与“中国磨削技术论坛”立场无关。 涉及政治言论一律删除,请所有会员注意.论坛资源由会员从网上收集整理所得,版权属于原作者. 论坛所有资源是进行学习和科研测试之用,请在下载后24小时删除, 本站出于学习和科研的目的进行交流和讨论,如有侵犯原作者的版权, 请来信告知,我们将立即做出整改,并给予相应的答复,谢谢合作!

中国磨削网

QQ|Archiver|手机版|小黑屋|磨削技术网 ( 苏ICP备12056899号-1 )

GMT+8, 2024-12-21 23:38 , Processed in 0.169931 second(s), 23 queries .

Powered by Discuz! X3.5

© 2001-2024 Discuz! Team.

快速回复 返回顶部 返回列表