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台阶仪二维超精密测量微观形貌

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发表于 2024-3-1 16:09:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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台阶仪通过扫描被测样品表面,获取高分辨率的表面形貌数据,能够揭示微观结构的特征和性能。" t! S" ]# S7 J  f
了解工作原理和性能特点  D3 b3 E5 K4 |. F6 L4 W
台阶仪利用扫描探针在样品表面上进行微观测量,通过探测探针和样品表面之间的相互作用力,获取表面形貌信息。具体而言,扫描探针通过细微的力变化,测量样品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通过数据处理,形成高分辨率的图像。- T) b8 l0 p: [3 U7 F3 H# W+ u
它能够实现纳米级别的测量,对微观结构的细节进行观测和分析,揭示出表面的微观特征;还具备高速扫描的能力,实现快速获取样品的形貌数据。
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功能和作用介绍
2 e- t( r9 Y, i% `/ \作为一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。测量参数:
! b& g& {, l, b8 A7 o, m(1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度;9 U$ a' h! d3 y
(2)粗糙度与波纹度:可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;* H: z0 H1 W; E
(3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲。
5 }( h2 v& z" Q" T' i3 m9 F$ c8 y* U
1 M9 j8 \9 o+ s) Y, m台阶仪的应用
% O$ K0 T8 I' C$ S( s4 V! Z台阶仪具有广泛的适用范围,在科学研究、材料表征、纳米技术、半导体制造等领域都有应用。如在半导体制造中,台阶仪可以用于检测半导体材料表面的缺陷和形貌,为半导体器件的开发和生产提供可靠的数据参考。
( @' Y; {" p' L, ~/ b台阶仪具备出色的精确性和稳定性,而且样品适应面广,对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。在材料科学、制造业、科研等领域都有着重要的应用价值。相信随着科技的不断发展,台阶仪将会在测量领域发挥更加重要的作用。
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2 J1 k4 O2 R; h4 d3 g1 Q- C$ L台阶仪优势总结8 w- p* |2 C# j* J) P* B! }, B3 _
1、高精度的测量能力! B5 [+ R! I: n8 T: M5 V7 C, `( o2 y
台阶仪在微观表面形貌的测量中非常准确,能够满足高精度测量的需求。CP系列台阶仪具有亚埃级分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性。其500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。: x# p5 F$ T& X4 e6 M
采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪测量ITO膜厚,高精度测量同时不损伤样件本身。7 l5 @& y2 P! x" ~4 Z9 K
2、快速测量的能力
- ?8 B9 L  ^0 `0 k: L" [2 U6 p9 p台阶仪配备精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。快速获取表面的高程数据,将测量结果以图形的形式展现出来。这提高了测量效率,减少了测量时间。
# {% z2 j+ L! J$ Q3、广泛的适用范围
. o9 n0 I$ M8 a  f台阶仪可以对各种不同材料的表面进行测量,包括金属、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面还是曲面,台阶仪都能够轻松应对,确保测量结果的准确性和可靠性。; [/ m% T; Q* }, @* n& W
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