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台阶仪二维超精密测量微观形貌

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发表于 2024-3-1 16:09:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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台阶仪通过扫描被测样品表面,获取高分辨率的表面形貌数据,能够揭示微观结构的特征和性能。
( R0 A- o% o; m5 X8 {: A  r9 g+ y) c" ]了解工作原理和性能特点7 a; q' _) Q, {( [
台阶仪利用扫描探针在样品表面上进行微观测量,通过探测探针和样品表面之间的相互作用力,获取表面形貌信息。具体而言,扫描探针通过细微的力变化,测量样品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通过数据处理,形成高分辨率的图像。
7 w  ?/ x3 B) ~5 N0 x3 c它能够实现纳米级别的测量,对微观结构的细节进行观测和分析,揭示出表面的微观特征;还具备高速扫描的能力,实现快速获取样品的形貌数据。
  L; w7 h  S9 F6 D6 a# p1 a; t" E
功能和作用介绍
1 ^8 g9 m0 F$ d作为一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。测量参数:& `0 o; s* C: Y
(1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度;
( b: W! I" x3 o2 j(2)粗糙度与波纹度:可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;
; H4 C- W$ I9 s/ z6 J/ F(3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲。, g& O3 }, h& O

( N. e) v, [1 B台阶仪的应用& s1 y) h( `5 Y
台阶仪具有广泛的适用范围,在科学研究、材料表征、纳米技术、半导体制造等领域都有应用。如在半导体制造中,台阶仪可以用于检测半导体材料表面的缺陷和形貌,为半导体器件的开发和生产提供可靠的数据参考。
) s# X& ]9 F9 S8 @5 Y6 _( Z7 A台阶仪具备出色的精确性和稳定性,而且样品适应面广,对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。在材料科学、制造业、科研等领域都有着重要的应用价值。相信随着科技的不断发展,台阶仪将会在测量领域发挥更加重要的作用。. X3 ]6 _6 }) m+ g
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台阶仪优势总结5 e: i; h2 R. e* c" v* x# c
1、高精度的测量能力4 n% K$ r& h. \4 e4 @2 y% [- {' p
台阶仪在微观表面形貌的测量中非常准确,能够满足高精度测量的需求。CP系列台阶仪具有亚埃级分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性。其500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。
, ^6 k2 {6 W( ~$ E采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪测量ITO膜厚,高精度测量同时不损伤样件本身。
. a, k6 l  `! H, h8 r2、快速测量的能力+ P* J( h$ U: \5 R7 q7 b; P- r( _
台阶仪配备精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。快速获取表面的高程数据,将测量结果以图形的形式展现出来。这提高了测量效率,减少了测量时间。) A4 ~: H/ ?$ c( R, C1 W9 W. [3 n
3、广泛的适用范围) o# I% i2 g; t# \% M! H
台阶仪可以对各种不同材料的表面进行测量,包括金属、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面还是曲面,台阶仪都能够轻松应对,确保测量结果的准确性和可靠性。
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! j/ W5 q7 q4 e3 |+ Y$ |6 z: g7 t/ \* o1 H: M+ e
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