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台阶仪二维超精密测量微观形貌

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发表于 2024-3-1 16:09:25 | 显示全部楼层 |阅读模式

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台阶仪通过扫描被测样品表面,获取高分辨率的表面形貌数据,能够揭示微观结构的特征和性能。
' y0 K8 ?1 ~5 F, Z) D& s8 J; V了解工作原理和性能特点
% I: |, C/ A+ {( d5 C台阶仪利用扫描探针在样品表面上进行微观测量,通过探测探针和样品表面之间的相互作用力,获取表面形貌信息。具体而言,扫描探针通过细微的力变化,测量样品表面的起伏程度以及凹凸部分的高度差。然后通过数据处理,形成高分辨率的图像。6 d' J- J) ~/ D- }/ e! S+ M& Z( R
它能够实现纳米级别的测量,对微观结构的细节进行观测和分析,揭示出表面的微观特征;还具备高速扫描的能力,实现快速获取样品的形貌数据。5 y( a) y( ^0 `* Z0 n  {2 o- v3 _) f

3 o* _8 _$ t! B5 P, m6 D功能和作用介绍1 O2 f6 W+ y. r7 l% M# f: I
作为一款超精密接触式微观轮廓测量仪,台阶仪可以对微米和纳米结构进行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波纹和表面粗糙度等的测量。测量参数:
5 v0 z$ q' y. ?0 n' {+ G* M+ r; p(1)台阶高度:能够测量纳米到330μm甚至1000μm的台阶高度;6 r- S- T- t; `9 z* H8 C
(2)粗糙度与波纹度:可获取粗糙度与波纹度相关的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余项参数;
- j% S+ t1 G. \# M- y8 W4 C  O5 g(3)翘曲与形状:能够测量样品表面的2D形状或翘曲。8 j0 B: t9 A# b. X! W$ Y/ D
& f4 |  C# K5 X5 v& ?
台阶仪的应用
2 e! B& p' D  J1 F# B; M5 O! p台阶仪具有广泛的适用范围,在科学研究、材料表征、纳米技术、半导体制造等领域都有应用。如在半导体制造中,台阶仪可以用于检测半导体材料表面的缺陷和形貌,为半导体器件的开发和生产提供可靠的数据参考。: f6 A: _8 X" \9 a
台阶仪具备出色的精确性和稳定性,而且样品适应面广,对测量工件的表面反光特性、材料种类、材料硬度都没有特别要求。在材料科学、制造业、科研等领域都有着重要的应用价值。相信随着科技的不断发展,台阶仪将会在测量领域发挥更加重要的作用。
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8 v1 I8 z7 m0 d7 O台阶仪优势总结" U5 {+ d5 f. [$ G. B# X
1、高精度的测量能力4 L6 k0 I5 H9 _& K. q# V" H2 k
台阶仪在微观表面形貌的测量中非常准确,能够满足高精度测量的需求。CP系列台阶仪具有亚埃级分辨率,结合单拱龙门式设计降低环境噪声干扰,确保仪器具有良好的测量精度及重复性。其500万像素高分辨率彩色摄像机,即时进行高精度定位测量。; ~4 t1 u8 `6 `6 ~2 y9 N* |
采用具有超微力可调和亚纳米级分辨率的台阶仪测量ITO膜厚,高精度测量同时不损伤样件本身。
1 R' Q; f  o$ Z* \, b2、快速测量的能力/ p. A- n2 G# u( m; \9 P
台阶仪配备精密XY位移台、360°电动旋转平台和电动升降Z轴,可对样品的XYZ、角度等空间姿态进行调节,提高测量精度及效率。快速获取表面的高程数据,将测量结果以图形的形式展现出来。这提高了测量效率,减少了测量时间。# O$ |, c  x% j+ u3 D
3、广泛的适用范围
( ]5 ?: c- s$ u0 q# n0 j台阶仪可以对各种不同材料的表面进行测量,包括金属、塑料、玻璃等材料。不管是平坦的表面还是曲面,台阶仪都能够轻松应对,确保测量结果的准确性和可靠性。
& t$ f3 R5 s* Y# ?$ `* }. I6 f
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