磨削技术网

 找回密码
 注册会员

QQ登录

只需一步,快速开始

扫一扫,访问微社区

查看: 163|回复: 0

激光干涉仪:机床导轨平行度垂直度精密测量工具

[复制链接]
发表于 2023-11-13 14:55:26 | 显示全部楼层 |阅读模式

马上注册,结交更多好友,享用更多功能,让你轻松玩转磨削论坛

您需要 登录 才可以下载或查看,没有账号?注册会员

x
激光干涉仪是一种利用激光干涉原理进行测量的精密仪器。广泛应用于光学、机械、电子等各种领域的测量。其中,平行度和垂直度的测量是激光干涉仪的重要应用之一。
, E' N% F, e& s" v0 ?
1 P& d* S% v" r. a( G5 u传统的测量方法通常采用机械测量或光学测量,但这些方法存在着精度低、误差大、易受环境影响等缺点。而激光干涉仪具有高精度、高灵敏度、非接触性等优点,能够实现平行度和垂直度的高精度测量。$ G/ `; \, O% w* I. v) a, \3 K+ [4 b

" L6 G7 H, g: }6 {激光干涉仪平行度测量原理
# A9 ?4 G1 K) H% u  E7 L0 ~3 G平行度测量是在直线度测量的基础上而扩展的应用。平行度测量由平行轴的两组直线度测量组成,参见下面平行度测量光路原理构件图,其中直线度反射镜作为共同的参考基准,在测量过程中保持原位,且不进行调整。由第1运动轴的斜度θ1中减去第2运动轴的斜度θ2,即可得出平行度=θ1-θ2。
8 f% _" Y1 c" f% g0 v/ G) L6 u& n0 S& m: L8 N
平行度测量配置及应用
  l. @$ W# w. j$ K( y9 F) Q平行度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组(或长直线度镜组)、SJ6000静态测量软件等组件构成。Z轴的平行度测量需增添可调转向镜。; h/ M6 Q2 Q6 b* ]5 F/ }; U
  F9 b! m* s! V! y, H- {

" [" Q& E) H/ p; k激光干涉仪垂直度测量原理
/ Y  Z. [/ z) ?% `5 r* ?& ^8 x垂直度的测量是直线度测量在二维方向上的延伸。垂直度测量由正交轴的两组直线度测量组成,详见下面垂直度测量光路原理构件图,其中直线度反射镜作为共同的参考基准,在测量过程中保持原位,且不进行调整;光学角尺用于至少在其中一次直线度测量中,允许调整激光束与轴的准直。垂直度误差=光学直角尺误差-斜度θ1-斜度θ2。0 K3 ^* H+ n8 h8 }( }/ Q2 y4 q
- R2 o. K/ U1 N! [  I
垂直度测量配置及应用
5 b6 |6 ^- o) j1 B% Z垂直度测量配置主要由SJ6000主机、短直线度镜组(或长直线度镜组)、垂直度镜组(含光学直角尺)、SJ6000静态测量软件等组件构成。
4 l0 F5 E; Q! `  b; S; i" ]
1 g" N4 y1 H, {% k1 O6 U) b
; }# c; M" |( K# o. w激光干涉仪测量优点
9 D$ X; r; c$ ]$ t; K( D- `3 x( _1. 高精度
# a( }8 O  z4 A0 x7 y9 vSJ6000激光干涉仪采用激光双纵模热稳频技术,可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出,精度可以达到纳米级别,可以准确地测量出平行度和垂直度的微小变化。
- Z9 X8 }2 X+ y6 r% W; U2. 非接触性6 h. y& l/ Y1 A0 a$ Y
SJ6000激光干涉仪不需要接触被测物体,不会对被测物体产生影响,也不会因为磨损而导致误差。
' ~( V& M' P; a0 p& H  n! l$ u3. 快速稳定
, o+ v& o1 g3 j/ LSJ6000激光干涉仪采用高速干涉信号采集、调理及细分技术,可实现高4m/s的测量速度,以及纳米级的分辨率,测量速度非常快;而且干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热影响,干涉光路稳定可靠,保证了长时间的稳定测量。
. u+ ~# t& |* p4. 适用范围广
1 v* U1 E& F& @- h7 [3 I0 A激光干涉仪可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等,以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。
/ W6 Z+ M, z# ?& G
0 J) P, Y. Y9 [3 x总之,激光干涉仪是一种强大的测量工具,可以广泛应用于各种领域的平行度和垂直度测量工作。它的出现为各种精密制造和科学实验提供了强有力的技术支持。
4 v' x# x( `0 H  ]& k; _' J  {* A
: Y. X0 G2 W7 E+ }: l+ W$ J- _
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册会员

本版积分规则

中国磨床技术论坛
论 坛 声 明 郑重声明:本论坛属技术交流,非盈利性论坛。本论坛言论纯属发表者个人意见,与“中国磨削技术论坛”立场无关。 涉及政治言论一律删除,请所有会员注意.论坛资源由会员从网上收集整理所得,版权属于原作者. 论坛所有资源是进行学习和科研测试之用,请在下载后24小时删除, 本站出于学习和科研的目的进行交流和讨论,如有侵犯原作者的版权, 请来信告知,我们将立即做出整改,并给予相应的答复,谢谢合作!

中国磨削网

QQ|小黑屋|手机版|Archiver|磨削技术网 ( 苏ICP备12056899号-1 )

GMT+8, 2024-4-16 22:24 , Processed in 0.114877 second(s), 21 queries .

Powered by Discuz! X3.4

Copyright © 2001-2021, Tencent Cloud.

快速回复 返回顶部 返回列表